Технологические процессы в микро- и наноэлектронике

Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
Скачать
Скачать pdf
Cкачиваний: 6
Язык:
Русский (эта книга не перевод)
Опубликовано здесь:
2019-08-27
Файл подготовлен:
2019-08-27 14:34:18
Поделиться:

Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.

Для студентов, обучающихся по специальности «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.

Полная версия

Читать онлайн
Рейтинг@Mail.ru