Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1
Скачать
Скачать pdf
Cкачиваний: 5
Поделиться:

Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.

Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.

Полная версия

Читать онлайн

Видео

Оставить отзыв

Рейтинг@Mail.ru