Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах

Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах – Коллектив авторов

Скачать
Скачать книгу
Cкачиваний: 2
Язык:
Русский (эта книга не перевод)
Опубликовано здесь:
2017-01-26
Файл подготовлен:
2018-10-21 12:42:08
Поделиться:

Монография посвящена синтезу, атомной, электронной структуре, механизмам переноса заряда и применению диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах флэш-памяти. Рассматриваются наиболее важные и перспективные диэлектрики Al2O3, HfO2, Ta2O5, ZrO2, TiO2, твердые растворы (HfO2)x(Al2O3)1 – x. Анализируется также электронная структура трех традиционных ключевых диэлектриков в кремниевых приборах: оксида SiO2, оксинитрида SiOxNy и нитрида Si3N4 кремния. Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся физикой твердого тела и микроэлектроникой.

Полная версия

Читать онлайн

Оставить отзыв

Рейтинг@Mail.ru