Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии

Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
Скачать
Язык:
Русский (эта книга не перевод)
Опубликовано здесь:
2019-01-30
Файл подготовлен:
2020-02-15 10:00:22
Поделиться:

В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.

Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».

Полная версия

Отрывок
Рейтинг@Mail.ru