ГлавнаяВысокие технологииДмитрий КрутогинФизико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий

Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий – Дмитрий Крутогин

ОтложитьЧитал

000

Скачать

Скачать pdf

Cкачиваний: 1

читать онлайн

Автор:

Дмитрий Крутогин, Олег Рабинович, Светлана Подгорная, Сергей Маренкин

Жанры:

Высокие технологии, Учебно-методические пособия

Язык:

Русский (эта книга не перевод)

Опубликовано здесь:

2018-03-29

В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».